本實(shí)用新型公開(kāi)了一種AlN陶瓷金屬化敷銅基板,其特征在于,包括AlN襯底、Cu、Ti、Ni、W膜和敷接銅片層,所述Cu、Ti、Ni、W膜涂敷在A(yíng)lN表面,所述Cu片層敷接于Cu、Ti、Ni、W膜之上。本實(shí)用新型關(guān)鍵的制備工藝都在管式爐中完成且無(wú)需還原性氣體,所用碳粉可以循環(huán)利用成本低且制備得到的AlN陶瓷金屬化敷銅基板附著力好,導(dǎo)電散熱性能優(yōu)異,適合大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“AlN陶瓷金屬化敷銅基板” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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