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AlN陶瓷金屬化敷銅基板

1318   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:25
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種AlN陶瓷金屬化敷銅基板,其特征在于,包括AlN襯底、Cu、Ti、Ni、W膜和敷接銅片層,所述Cu、Ti、Ni、W膜涂敷在A(yíng)lN表面,所述Cu片層敷接于Cu、Ti、Ni、W膜之上。本實(shí)用新型關(guān)鍵的制備工藝都在管式爐中完成且無(wú)需還原性氣體,所用碳粉可以循環(huán)利用成本低且制備得到的AlN陶瓷金屬化敷銅基板附著力好,導(dǎo)電散熱性能優(yōu)異,適合大規(guī)模生產(chǎn)。
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