權(quán)利要求 1.鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，包括： 蒸汽噴射式抽空器，包括： 第一入口部，包括：第一入口部本體、設(shè)置于第一入口部本體上的第一流量閥，第一入口部本體用于通入水蒸汽； 第二入口部，包括：第二入口部本體、設(shè)置于第二入口部本體上的第二流量計，第二入口部本體用于通入鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣，第二流量計用于測量通入到第二入口部本體的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣的流量，第一流量閥用于根據(jù)第二流量計測得的尾氣流量控制通入到第一入口部本體的水蒸汽的流量； 反應(yīng)室，分別與第一入口部、第二入口部連接，反應(yīng)室用于鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣中的四氯化硅與水蒸汽發(fā)生水解反應(yīng)生成二氧化硅。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，反應(yīng)室包括：入口段、與入口段連接的縮徑段，縮徑段的直徑比入口段的直徑小，第一入口部、第二入口部分別與入口段連接，縮徑段用于使得通入到反應(yīng)室的混合氣在縮徑段形成負(fù)壓。 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，縮徑段的直徑與入口段的直徑的比值為(2～7)：10。 4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，反應(yīng)室還包括：與縮徑段連接的出口段，縮徑段的直徑比出口段的直徑小。 5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，縮徑段的直徑與出口段的直徑的比值為(2～7)：10。 6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，第一入口部本體的入口端位于反應(yīng)室外，第一入口部本體的出口端位于反應(yīng)室內(nèi)，第二入口部本體的入口端位于反應(yīng)室外，第二入口部本體的出口端設(shè)置于反應(yīng)室上，第二入口部本體的出口端對著第一入口部本體的側(cè)壁。 7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，第一入口部本體的出口端為噴嘴。 8.根據(jù)權(quán)利要求1～3、5～7任意一項所述的鋯英砂沸騰氯化生產(chǎn)中尾氣處理的裝置，其特征在于，還包括：氣固分離器，與反應(yīng)室的混合氣出口連接，氣固分離器用于對反應(yīng)室的混合氣出口排出的混合氣進(jìn)行氣固分離，氣固分離器上設(shè)置有氣相出口、固相出口。 9.根據(jù)權(quán)利要求8