本發(fā)明公開了一種高結(jié)晶質(zhì)量的金屬鹵素鈣鈦礦薄膜，制備所述金屬鹵素鈣鈦礦薄膜的鈣鈦礦前驅(qū)體溶液中加入了乙胺碘添加劑。本發(fā)明還提供了由所述金屬鹵素鈣鈦礦薄膜制備的金屬鹵素鈣鈦礦光電探測器及其制備方法。通過往鈣鈦礦前驅(qū)體中加入乙胺碘，成功的調(diào)控了鈣鈦礦薄膜的結(jié)晶過程，并且得到了具有高結(jié)晶取向性的優(yōu)質(zhì)薄膜。以此薄膜為基礎(chǔ)，制得了具有優(yōu)良光電性能得自驅(qū)動光電探測器。