本發(fā)明公開了一種高濃度小水量工業(yè)廢水處理系統(tǒng)及處理工藝，包括以下步驟：a.將工業(yè)廢水存入廢液收集桶，采用后反饋的模式將廢液收集桶中的廢水向廢液暫存桶中輸送；b.將廢液暫存桶內部的廢液通過蒸發(fā)系統(tǒng)進料泵向蒸發(fā)設備內部輸送且該過程連續(xù)進行。本發(fā)明中，通過蒸發(fā)系統(tǒng)對工業(yè)廢水進行蒸發(fā)冷凝，然后對紫外線、超聲波和臭氧設備對廢水進行處理，最后通過精密過濾器進行過濾，完成了對工業(yè)廢水的處理，相比現有技術中的處理方式，工藝更加簡單、適用性搶，可適合處理水質范圍廣，同時，該廢水處理工藝要求運行靈活，對水質和水量變化有很好的抗沖擊負荷能力，可確保出水水質達到處理要求。