本實用新型公開了一種硅片切割機廢水處理裝置，包括多級按照由高到低順利一次設(shè)立的過濾箱，所述過濾箱內(nèi)被隔板和濾布分隔為沉降室和清液室，所述沉降室和清液室內(nèi)設(shè)置有進料管和溢流管，所述相鄰過濾箱的進料管和溢流管之間通過輸水管連通；且本實用新型的濾布孔徑按照由高到低的順序呈線性遞減；本實用新型在將廢水中的雜質(zhì)沉積與沉降室內(nèi)，上層清液通過溢流管進入到下一級過濾箱內(nèi)，本實用新型實現(xiàn)了對雜質(zhì)的分級過濾，與傳統(tǒng)的過濾方式相比，能夠大大提高過濾的質(zhì)量，降低企業(yè)的環(huán)保排放壓力。