本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法，涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。一種高比重鎢基合金蝕刻劑，按重量百分比計(jì)算，包括以下組成：強(qiáng)氧化劑18?30％、催化劑6?15％、緩蝕劑0.1?1.0％、穩(wěn)定劑1?3％、pH緩沖劑1?5％，余量為水；所述蝕刻劑的pH為13?14。配制方法為：往水中加入催化劑，再添加強(qiáng)氧化劑，混合均勻后加入緩蝕劑、穩(wěn)定劑和pH緩沖劑，調(diào)節(jié)pH為13?14，即可配制得到所述高比重鎢基合金蝕刻劑。本配方選取的化學(xué)試劑對(duì)作業(yè)人員具有較低的健康風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)，且作業(yè)后產(chǎn)生的工業(yè)廢水具有較低的環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)，克服了現(xiàn)有工藝下作業(yè)安全風(fēng)險(xiǎn)性高和環(huán)境污染負(fù)荷大的特點(diǎn)。