本實用新型公開了一種新型三氯氫硅的合成生產(chǎn)裝置，包括合成塔、一級旋風(fēng)除塵器、二級旋風(fēng)除塵器、濕法噴淋裝置和廢氣預(yù)處理裝置，所述合成塔、廢氣預(yù)處理裝置、一級旋風(fēng)除塵器、二級旋風(fēng)除塵器和濕法噴淋裝置按照由左到右的順序連接，廢氣預(yù)處理裝置包括水泵、中和沉淀池、三氯氫硅檢測報警器和箱體，箱體水平設(shè)置，箱體的左端為進氣端，右端為排氣端，箱體內(nèi)設(shè)有多個活性炭吸附板和噴頭，多個活性炭吸附板分別設(shè)于箱體的進氣端和排氣端，噴頭設(shè)在箱體頂部，箱體底部設(shè)有凹陷的廢水收集槽，廢水收集槽、中和沉淀池、水泵和噴頭依次通過輸水管道相連接，三氯氫硅檢測報警器設(shè)于箱體上部。本實用新型除塵效率高，經(jīng)濟效益好，安全可靠。