本發(fā)明提供一種粗品六氟化硫的純化方法，包括以下步驟：裂解除雜；水洗除雜；堿洗除雜；低壓吸附；高壓吸附；精餾除雜。本發(fā)明通過設置一至六級水洗塔，經過多次水洗有效去除粗品六氟化硫中的氟氣、低硫氟化物、亞硫酰氟化物，提高六氟化硫的純度，同時對水洗過程中的副產物氫氟酸進行回收，減少廢水的產生，實現(xiàn)變廢為寶；本發(fā)明通過設置一至六級堿洗塔，經過多次堿洗有效去除六氟化硫中的HF、CO2、SO2氣體，提高其純度，堿洗塔產生的廢液通過在堿液收集槽中利用生石灰處理后重復利用，避免廢液的產生，降低污染，節(jié)約成本。