一種超純水系統(tǒng)的節(jié)水系統(tǒng)，由超純水系統(tǒng)、反洗廢水凈化系統(tǒng)、反滲透濃水池和一次純水罐組成。該系統(tǒng)可實現(xiàn)多介質(zhì)過濾器和活性炭過濾器反洗水回收處理后回用；活性炭過濾器、去陰離子塔、混床反洗再生的末道沖洗水，拋光樹脂塔的初期末道沖洗水，膜脫氣剛上線初期及更換材料后初期沖洗排水，以及在線儀表排水回用至超純水系統(tǒng)；反滲透膜、膜脫氣、超濾膜、供應(yīng)機臺回水發(fā)生水質(zhì)異常時，將此時異常水回用至超純水系統(tǒng)前段；可以降低純水制備過程中廢水產(chǎn)生率，提高水源的復(fù)用率，節(jié)約水資源。