本發(fā)明的公開一種酸性氯化銅蝕刻廢液的再生工藝，包括置換、過濾、清洗濾渣、調(diào)配再生混合液、氧化為再生蝕刻子液的步驟。該工藝不使用有毒的氯氣，且能夠?qū)λ嵝晕g刻廢液中的各成分進行充分的循環(huán)再利用，不產(chǎn)生大量多余的化學(xué)廢液；本發(fā)明還提供了一種酸性氯化銅蝕刻廢液的回收工藝，包括置換、過濾、清洗濾渣、氧化回收的步驟。該工藝不使用有毒的氯氣，回收所得的主成分為三氯化鐵的溶液可作為廢水處理原料，得到再利用；回收所得的銅可直接再利用。