本實用新型公開了一種高級氧化廢氣處理設備，包括預處理罐體，所述預處理罐體的一側中部設有風管，所述預處理罐體的另一側設有高級氧化罐體，所述預處理罐體與所述高級氧化罐體之間通過導管一連接，所述高級氧化罐體遠離所述預處理罐體的一側設有風機，所述風機的輸入端與導管二的一端連接，所述導管二的另一端延伸至所述高級氧化罐體內，所述風機的輸出端延伸至位于其一側的煙囪內，所述高級氧化罐體罐體中部設有豎直方向的催化劑一。本實用新型所述的一種高級氧化廢氣處理設備，反應過程無物質狀態(tài)的轉換，沒有廢水二次污染物的產(chǎn)生，是一種干凈的環(huán)保技術，與傳統(tǒng)方法相比有更低的操作運行成本，更低的保修維護成本。