本發(fā)明公開了一種芯片生產(chǎn)線的鎳廢水處理方法，屬于芯片生產(chǎn)廢水處理技術領域。所述廢水處理方法包括廢水收集、廢水蒸發(fā)、廢氣處理和固體廢渣處理；所述廢水蒸發(fā)是在蒸發(fā)室內(nèi)通入高溫氣體進行加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)時間為12～16h，蒸發(fā)溫度為180～220℃。本發(fā)明通過物理蒸發(fā)方法將廢水進行分離后，分別處理，具有方法簡單、處理效果高、不使用化學試劑，對環(huán)境友好的優(yōu)點。