本發(fā)明公開了一種單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法，包括以下步驟：(1)、在處于攪拌下的單晶硅切割渣及切割廢液中加入鹽酸，攪拌反應(yīng)后得混合料液；(2)、將混合料液加熱蒸發(fā)進(jìn)行固液分離，得到碳化硅、硅和雜質(zhì)的固體混合物和氣體，將氣體蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脫水后升溫排水得聚乙二醇；(3)、將碳化硅、硅和雜質(zhì)的固體混合物經(jīng)震蕩清洗和重力分離得到碳化硅和硅的固體混合物；(4)、將碳化硅和硅的固體混合物加入到硝酸和HF組成的混合酸溶液中，反應(yīng)后將氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再將氟硅酸加工回收硅，反應(yīng)后剩余碳化硅和酸液，過濾酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本發(fā)明方法環(huán)保且具有很大的經(jīng)濟效益。