本實(shí)用新型提供了一種氯硅烷廢液的凈化回收裝置。該凈化回收裝置包括：過(guò)濾單元，包括一個(gè)或多個(gè)并聯(lián)設(shè)置的過(guò)濾器，各過(guò)濾器設(shè)置有氯硅烷廢液入口，氯硅烷廢液通過(guò)各過(guò)濾器后得到固體渣和過(guò)濾液，且過(guò)濾器的底部設(shè)置有固體渣出口，過(guò)濾器的頂部設(shè)置有過(guò)濾液出口；提純塔，提純塔的入口與過(guò)濾液出口相連通，過(guò)濾液通過(guò)提純塔后得到氯硅烷液體和提純后殘余液，提純塔的底部設(shè)置有提純后殘余液出口，提純塔的頂部設(shè)置有氯硅烷液體出口，提純后殘余液出口與氯硅烷廢液入口相連通。整個(gè)系統(tǒng)操作、運(yùn)行可靠，氯硅烷回收率高，純度高，而且在節(jié)能降耗、環(huán)保方面有顯著的效果。