本發(fā)明屬無機(jī)非金屬納微米粉體材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種納米亞微米硅粉的生產(chǎn)方法。納米球形硅大量用于高能量密度鋰離子電池硅碳負(fù)極材料，提高鋰離子電池能量比，為解決目前納米硅粉生產(chǎn)方法單產(chǎn)效率低，成本高，品質(zhì)低，特別是高能量密度鋰離子電池硅碳負(fù)極材料中硅材料的納米化問題，提供一種新型高溫氣化物理生產(chǎn)方法。該方法選用多晶硅、單晶硅或金屬硅粉為原料，經(jīng)電力加熱?激光復(fù)合加熱，高溫氣化，硅蒸氣高溫生長，冷卻、收集，得到納米級(jí)或亞微米級(jí)的球形硅粉。采用該工藝可生產(chǎn)出高純度，高品質(zhì)納米硅粉，粒徑在納米級(jí)(5nm～100nm)，亞微米級(jí)(0.1μm～1.0μm)，粒度可精準(zhǔn)控制。生產(chǎn)過程少廢氣，無廢水、固體廢棄物排出，并且投資適中，產(chǎn)量高，可用于規(guī)?；I(yè)生產(chǎn)。