一種渣漿回收裝置，用于回收多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的渣漿，包括加熱渣漿的加熱器、與該加熱器連通以中和渣漿的中和釜、壓濾中和后渣漿的板框壓濾機(jī)及與加熱器相連、用以回收氯硅烷的回收罐。本實(shí)用新型的渣漿回收裝置，首先進(jìn)行了加熱回收，回收了其中的氯硅烷作為其他工序的原料備用，進(jìn)一步降低了成本。其次，對(duì)渣漿進(jìn)行了中和后壓濾，實(shí)現(xiàn)固液分離，由于事先中和，分離后的廢液和固體廢渣都可以直接排放或者掩埋，符合排放標(biāo)準(zhǔn)，不污染環(huán)境，而且處理成本更低。