本實(shí)用新型公開(kāi)了一種加熱器底座,包括座體,所述座體內(nèi)開(kāi)有兩個(gè)供加熱導(dǎo)體穿越的第一通孔、供接地導(dǎo)體穿越的第二通孔,所述座體的下部對(duì)應(yīng)所述第二通孔的部分開(kāi)有用于露出所述接地導(dǎo)體下部的凹口。還公開(kāi)了一種采用上述底座的加熱器。通過(guò)在加熱器的底座的下部對(duì)應(yīng)所述第二通孔的部分開(kāi)有用于露出所述接地導(dǎo)體下部的凹口,從而騰出空間在接地導(dǎo)體的外圖繞置金屬片,并金屬線將金屬片和底座相連從而有效增大了接地導(dǎo)體的接地面積,有效減少了接地導(dǎo)體發(fā)生電弧放電的概率,進(jìn)而有效避免了高頻發(fā)生器反射能量的不穩(wěn)定造成晶圓報(bào)廢的危險(xiǎn)。同時(shí),也減少更換零部件的成本,減少更換零部件的維修時(shí)間,有效提高了生產(chǎn)效率。