本實用新型公開了微蝕液循環(huán)再生系統(tǒng)。本實用新型包括調整失效微蝕液H2O2含量的調整系統(tǒng)、銅回收系統(tǒng)和自動添加系統(tǒng),調整系統(tǒng)設有與微蝕槽相連的管路,調整系統(tǒng)通過管路與銅回收系統(tǒng)相連接,銅回收系統(tǒng)通過管路與自動添加系統(tǒng)相連接,自動添加系統(tǒng)設有與微蝕槽相連的管路。整個系統(tǒng)是封閉循環(huán)運行,無需外排廢液,不會對環(huán)境造成危害;只需要添加消耗的添加劑就能不斷的再生合格的微蝕液,保證了微蝕刻的穩(wěn)定性和一致性,有效地降低了微蝕刻的成本,保證了微蝕刻的質量。與此同時,通過銅回收系統(tǒng)還能獲得高價值的副產品金屬銅,進一步降低了處理成本。