本實用新型公開了一種碳化硅線切裝置，包括底座，底座頂端的兩側均設有支撐板，其中一個支撐板一側的頂部設有氣缸座，氣缸座的一端安裝有氣缸，氣缸的輸出端與固定板的一側固定連接，固定板底端開設有凹槽，凹槽頂端的內(nèi)壁設有震動電機，震動電機的輸出端設有震蕩板，本實用新型一種碳化硅線切裝置，通過設有的氣缸帶動固定板，從而帶動晶棒咋切割線上來回往復運動，因此使得切割的品質(zhì)均勻，不會有斷線的危險，且切割效果好；通過設有的震動電機，可以加快晶棒切割后廢屑脫離晶棒；通過在出料管口設有的超聲波發(fā)生器，利用超聲波產(chǎn)生正玄波傳遞特性，增加排削性以及切割能力，且利用介質(zhì)傳遞超聲波可避免硬件損耗與精度跑偏。