本實(shí)用新型公開了一種能夠避免尾排管爆炸的用于制備硅片表面氧化鋁膜的裝置。該裝置包括設(shè)置有爐門的真空沉積室，真空沉積室內(nèi)設(shè)有石墨舟，真空沉積室上設(shè)有進(jìn)氣口與排氣口，進(jìn)氣口上連接有用于通入制程氣體的導(dǎo)氣管，排氣口上連接有真空泵，真空泵的出口連接有尾排管，通過尾排管上設(shè)置尾氣處理裝置，真空沉積室內(nèi)反應(yīng)完畢的廢氣在真空泵的作用下，尾氣先經(jīng)過氣爆室與空氣發(fā)生反應(yīng)，再經(jīng)過水爆室內(nèi)與水發(fā)生反應(yīng)，尾氣再進(jìn)入甲烷燃燒時將生成的甲烷燃燒殆盡后再進(jìn)入尾排管，進(jìn)入尾排管的尾氣由于不含有三甲基鋁也就不會發(fā)生爆炸，避免了尾排管經(jīng)常發(fā)生爆炸的危險情況發(fā)生，其安全性大大提高。適合在太陽能電池硅片加工設(shè)備領(lǐng)域推廣應(yīng)用。