本實用新型公開了一種帶微流控氣化器的廢氣處理系統(tǒng)，解決了進入RTO的有機廢氣氧氣濃度較高并且進氣量不穩(wěn)定的問題，其包括VOCs收集系統(tǒng)，預處理器，微流控氣化器，RTO焚燒爐，VOCs收集系統(tǒng)與預處理器連通，預處理器與微流控氣化器連通，微流控氣化器與RTO焚燒爐連通，微流控氣化器包括依次連接的第一蓋板、填料板和第二蓋板，第一蓋板與填料板之間形成液滴通道，填料板與第二蓋板之間形成氣相通道，填料板上設有多個分流孔，液滴通道與氣相通道通過分流孔連通，氣相通道中填充有惰性氣體，通過微流控氣化器將預處理過的有機溶劑氣化，并通過填充惰性氣體保護，降低了氧氣濃度并且可以控制氣量大小，因此可以避免RTO焚燒爐內出現(xiàn)高溫預警或爆炸的危險。