本實用新型涉及廢氣處理設備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導體廢氣處理設備止回閥，包括上蓋和下蓋，上蓋和下蓋的中部貫穿設置通孔，所述上蓋靠近下蓋的外側(cè)突出設置上凸起，所述下蓋在靠近上蓋的外側(cè)突出設置下凸起，本實用新型的有益效果是：本止回閥因其在等壓環(huán)境下為閉合狀態(tài)，具有自動復位功能，所以安裝位置及角度不受限制，角度可以隨意安裝，很大程度上提高了實用性能；機臺內(nèi)安裝位置不受限制，在進口、出口都可安裝，裝在進氣口更加有效的避免氣體逆流引起管路高溫危險；相比傳統(tǒng)的技術(shù)，本實用新型通過逆止擋板的設計，可以做到有效密封，避免磨損；本實用新型適用性強，可以更改進出口連接方式進而應用在走水管路中。