本發(fā)明涉及一種反應(yīng)條件溫和、工藝簡(jiǎn)單、操作安全、收率高且三廢極少的三甲基碘硅烷的制備工藝，以無水碘化鈉、無水氯化鋰、三甲基氯硅烷為原料，在干燥的氮?dú)鈿夥罩泻铣扇谆夤柰?。本方法改變了傳統(tǒng)六甲基二硅烷、六甲基二硅氧烷制備碘硅烷的復(fù)雜工藝，反應(yīng)條件溫和，操作安全，避免使用高?；瘜W(xué)品金屬鉀、鈉的危險(xiǎn)，同時(shí)也避免了高溫加碘難題，整個(gè)生產(chǎn)循環(huán)過程，產(chǎn)出只有三甲基碘硅烷產(chǎn)品和副產(chǎn)氯化鈉，無其它三廢的產(chǎn)生，工藝綠色環(huán)保。