本發(fā)明提供了一種高效除硅回收氫氟酸的工藝技術，采用耐酸腐蝕、不同過濾精度的過濾器，有效去除細小顆粒物，滿足滲析設備的進液要求，避免對滲析設備的損傷；滲析設備采用內循環(huán)的處理方式可有效去除廢液中的硅，在除硅的同時進行回收氫氟酸，這大大提高了回收氫氟酸的純度；該工藝不引入任何化學藥劑，經回收氫氟酸后，后續(xù)廢液處理可有效降低化學中和藥劑的加入量及危廢污泥產生量，達到減少資源投入，實現氫氟酸循環(huán)利用的目的，降低了經濟成本，而且操作簡單，無需高溫高壓環(huán)境，易于實現，有很廣闊的工業(yè)應用前景。