本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體枚葉式清洗設(shè)備的硫酸回收利用裝置，包括第一混合液處理機(jī)構(gòu)，包括儲(chǔ)存罐，進(jìn)口端連通清洗設(shè)備的混合液體出口端，儲(chǔ)存罐的出口端連通清洗設(shè)備的硫酸進(jìn)口端，以將經(jīng)加熱處理后的混合液補(bǔ)充入清洗設(shè)備內(nèi)；加熱氮?dú)庠矗B通儲(chǔ)存罐以向儲(chǔ)存罐內(nèi)通入熱氮?dú)怏w；廢氣流出管，連接在儲(chǔ)存罐的出口處。本實(shí)用新型可以將混合液進(jìn)行加熱處理，利用氮?dú)獾臏囟仁惯^氧化水分解，從而提高混合液中的硫酸濃度至需要的濃度值，再將經(jīng)過加熱處理的混合液返回到清洗機(jī)內(nèi)作為補(bǔ)充，繼續(xù)參與晶圓的清洗過程?？梢曰厥绽昧蛩幔蟠蠼档土藦U水處理成本，簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，降低對(duì)環(huán)境的危害。同時(shí)降低了硫酸的消耗量。