本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N衍射光學(xué)元件的性能檢測(cè)系統(tǒng)、方法和裝置，該系統(tǒng)包括：光發(fā)射器件，光發(fā)射器件用于發(fā)射預(yù)定光至衍射光學(xué)元件中；接收設(shè)備，包括接收屏，接收屏位于光發(fā)射器件的一側(cè)，預(yù)定光經(jīng)過(guò)衍射光學(xué)元件衍射后在接收屏上形成多個(gè)光斑點(diǎn)；圖像處理裝置，位于接收屏的遠(yuǎn)離光發(fā)射器件的一側(cè)，圖像處理裝置用于獲取接收屏上的多個(gè)光斑點(diǎn)的圖像，并根據(jù)圖像計(jì)算衍射光學(xué)元件的衍射效率、衍射均勻性以及視場(chǎng)角中的至少一個(gè)。該系統(tǒng)根據(jù)獲取的圖像計(jì)算衍射光學(xué)元件的至少一項(xiàng)性能參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)衍射光學(xué)元件的性能的檢測(cè)。