本發(fā)明提供一種芯片檢測(cè)裝置，主要包括主機(jī)、導(dǎo)線、控制機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、分析機(jī)構(gòu)和顯示機(jī)構(gòu)。特征是：所述主機(jī)、控制機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、分析機(jī)構(gòu)和顯示機(jī)構(gòu)由導(dǎo)線連接，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)由外觀檢測(cè)裝置和性能檢測(cè)裝置夠成，所述控制機(jī)構(gòu)連接在檢測(cè)機(jī)構(gòu)和分析機(jī)構(gòu)兩端。本發(fā)明可通過(guò)顯示機(jī)構(gòu)準(zhǔn)確無(wú)誤地觀察出芯片的外觀特征及性能，操作者能夠?qū)π酒瑱z測(cè)方便準(zhǔn)確地操作。