本發(fā)明提供一種衍射光學(xué)元件檢測系統(tǒng)及其檢測方法，屬于衍射光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，包括光源，以及沿光源出射方向依次設(shè)置的錐光鏡和圖像采集器，所述錐光鏡包括傅里葉變換透鏡組，衍射光學(xué)元件設(shè)置于所述光源和所述錐光鏡之間，且位于所述錐光鏡的焦點位置；還包括控制器，所述圖像采集器采集通過所述衍射光學(xué)元件和所述錐光鏡后形成的衍射圖像并發(fā)送給所述控制器，所述控制器對所述衍射圖像進行處理分析以得到所述衍射光學(xué)元件的光學(xué)性能。衍射光學(xué)元件檢測系統(tǒng)可以有效的消除不同衍射級之間的位置畸變和光斑的變形、拉伸等現(xiàn)象，可有效的提供衍射光學(xué)元件性能檢測的精度。