本實(shí)用新型涉及一種基于氣體流量測(cè)量氣膜內(nèi)氣體密度的裝置，屬于精密設(shè)備性能檢測(cè)領(lǐng)域。本實(shí)用新型所述基座固定在水平地面上，隔震平臺(tái)放置在基座上，大理石平臺(tái)放置于水平的隔振平臺(tái)上，空氣靜壓軸承放置在大理石平臺(tái)中央，壓力傳感器放置在空氣靜壓軸承正上方，傳感器支架一端固定在隔震平臺(tái)上，傳感器支架另一端連接微位移傳感器接入微力傳感器，氣缸安裝在支架上并位于壓力傳感器的正上方；空氣壓縮機(jī)把氣源經(jīng)過壓縮之后，由三通分出三路氣體分別給氣缸和空氣靜壓軸承供氣。本實(shí)用新型通過氣體流量的調(diào)節(jié)，通過氣膜厚度變化對(duì)氣膜間隙的影響，從而利用所測(cè)得氣體流量的變化量計(jì)算出氣膜內(nèi)氣體的密度。