基于偏振光散射法檢測(cè)工件表面綜合性能參數(shù)的裝置，屬于光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域，本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有加工工件表面性能檢測(cè)裝置只能檢測(cè)單一特征參數(shù)，不能準(zhǔn)確、快速、簡(jiǎn)便地檢測(cè)綜合性能參數(shù)的問(wèn)題。本實(shí)用新型激光入射至分光鏡分光，水平激光通過(guò)擴(kuò)束器、起偏器和反光鏡入射至工件表面，反射后入射至電荷耦合陣列檢測(cè)器；垂直激光通過(guò)擴(kuò)束器、起偏器和分光鏡分為水平激光和垂直激光；水平激光通過(guò)透鏡入射至電荷耦合陣列檢測(cè)器；垂直激光通過(guò)偏振分光鏡分為水平S光和垂直P(pán)光；水平S光通過(guò)反光鏡和透鏡入射至工件表面，反射后入射至光電二極管陣列；垂直P(pán)光通過(guò)透鏡入射至工件表面，反射后入射至光電二極管陣列。用于檢測(cè)加工工件表面綜合特征參數(shù)。