本發(fā)明涉及一種鎳鈦合金靶坯及其制備方法，所述制備方法包括對鎳鈦合金鑄錠依次進行鍛造、一次退火、軋制、二次退火與機加工，得到的鎳鈦合金靶坯具有內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻，內(nèi)部無缺陷，晶粒細小等優(yōu)點，晶粒大小一般≤100μm，最優(yōu)時≤50μm，將成品率提高至90％以上，符合半導(dǎo)體領(lǐng)域鎳鈦合金靶材的使用標準。