本發(fā)明公開了一種微觀單元磨蝕性表達方法測量裝置以及檢測方法，涉及材料檢測技術領域。該微觀單元磨蝕性表達方法測量裝置包括基座、位置調(diào)節(jié)組件、工件移動臺以及壓頭總成。位置調(diào)節(jié)組件設置于基座，壓頭總成通過連接件與位置調(diào)節(jié)組件連接，工件移動臺可移動的設置于基座，且與壓頭總成對應。該微觀單元磨蝕性表達方法測量裝置結構簡單，使用方便，精度高，能夠避免壓頭模組之間的電磁干擾，又可以實現(xiàn)nm級的精確定位，能夠快速準確的獲得樣品的磨蝕性能。