本發(fā)明提供了一種用于常壓多氣體漏率測(cè)試的質(zhì)譜分析檢測(cè)裝置及方法,包括:氣體檢測(cè)室與真空系統(tǒng)連接;氣體檢測(cè)室與氣體分析及校準(zhǔn)系統(tǒng)連接;氣體檢測(cè)室與循環(huán)氣體取樣系統(tǒng)連接;真空計(jì)與氣體檢測(cè)室連接;氣體檢測(cè)室用于氣體檢測(cè)與分析;真空系統(tǒng)用于氣體檢測(cè)室抽真空,真空系統(tǒng)抽速滿足氣體檢測(cè)室工作真空壓力要求;氣體分析及校準(zhǔn)系統(tǒng)用于漏率檢測(cè)以及質(zhì)譜分析儀的標(biāo)定;循環(huán)氣體取樣系統(tǒng)將密閉檢漏容器內(nèi)的氣體進(jìn)行循環(huán)并引入氣體檢測(cè)室;真空計(jì)用于對(duì)氣體檢測(cè)室進(jìn)行真空測(cè)量。本發(fā)明的常壓多氣體漏率測(cè)試的質(zhì)譜分析方法及檢測(cè)裝置能夠快速、精確、可靠的對(duì)航天器的整體密封性能進(jìn)行高精度、快速漏率測(cè)試。
聲明:
“一種用于常壓多氣體漏率測(cè)試的質(zhì)譜分析檢測(cè)裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)