本發(fā)明涉及光伏技術技術領域，公開了一種超薄晶體硅太陽電池及其制備方法，包括以下步驟：步驟一：利用石英砂和焦炭在電弧爐中制取純度較低的粗硅，之后再通過工業(yè)提純法對粗硅進行提純并制成高純單晶硅備用，選取表面積較大的鎢合金板，在其一側表面進行打磨拋光，直至呈鏡面的光滑狀態(tài)；將高純度的單晶硅熔融在母體內(nèi)并置于熔爐中，通過專用的可升降夾具對拋光后的鎢合金板進行鎖定。本發(fā)明通過采用一面被拋光至與硅膜拋光同樣精度要求的鎢合金板，使其貼近于熔融硅的表面并使其與鎢合金板的光滑面接觸，然后降溫析出硅膜附著在鎢合金板表面，其表面不會因與空氣接觸而存在細小氣泡，只需要硅膜的另一面拋光即可以，降低了制作工序和成本。