本公開提供一種化學(xué)清洗液配置系統(tǒng)和方法。化學(xué)清洗液配置系統(tǒng)設(shè)置在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備內(nèi)，包括：第一混合系統(tǒng)，被配置為將第一化學(xué)溶液和第一稀釋液混合，得到第一混合液；第二混合系統(tǒng)，被配置為第二化學(xué)溶液和第二稀釋液混合，得到第二混合液；第三混合系統(tǒng)，被配置為將所述第一混合液、所述第二混合液和第三稀釋液混合，得到第三混合液；輸出系統(tǒng)，被配置為輸出所述第三混合液至所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的噴淋裝置；采樣系統(tǒng)，被配置為采樣所述輸出系統(tǒng)中輸出的所述第三混合液，其中所述采樣系統(tǒng)為與所述輸出系統(tǒng)相連通的支路系統(tǒng)；監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，被配置為監(jiān)測(cè)所述第一混合液、所述第二混合液，以及所述第三混合液的狀態(tài)。