本發(fā)明公開(kāi)一種硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)、磷(P)含量測(cè)量的校正方法,以對(duì)諸如X射線熒光儀(XRF)等BPSG的B、P含量測(cè)定儀器進(jìn)行校正。主要利用濕化學(xué)方法測(cè)定BPSG中的B、P含量,并與XRF測(cè)定的結(jié)果進(jìn)行對(duì)比,求出差異數(shù)值,通過(guò)差異數(shù)值調(diào)節(jié)XRF的準(zhǔn)確性,具體步驟包括:用XRF測(cè)量BPSG薄膜的硼、磷濃度;將所述BPSG薄膜溶解于蝕刻液,用元素定量分析設(shè)備測(cè)定其硼、磷濃度;以及利用XRF和元素定量分析設(shè)備分別測(cè)定的硼、磷濃度形成一用于校正所述XRF的濃度校正曲線。然后利用該濃度校正曲線來(lái)校正XRF,或者根據(jù)該濃度校正曲線制作XRF標(biāo)準(zhǔn)片來(lái)校正XRF。