本發(fā)明涉及非金屬礦物深加工技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種以天然石英制備低放射性球形硅微粉的方法與裝置，包括以下步驟：S1，選取流體包裹體和放射性元素都達(dá)到要求的天然脈石英礦石；S2，將礦石按照挑選、破碎篩分、酸洗、浮選、磁選的流程依次進(jìn)行處理，然后將其提純得到總雜質(zhì)含量低于100ppm，鈾、釷的含量分別低于1ppb的高純石英砂；S3，將高純石英砂經(jīng)過無污染的氣流磨處理，得到亞微米級到微米級的高純超細(xì)硅微粉，用經(jīng)過處理的高純度氣體經(jīng)過噴嘴將高純石英砂磨細(xì)成0.1?100微米的高純硅微粉；S4，將高純硅微粉經(jīng)過球化爐后進(jìn)行分級，制得目標(biāo)粒度分布、球形度大于90%的球形硅微粉。本申請解決了傳統(tǒng)工藝制取的球形硅微粉的羥基含量高，雜質(zhì)含量高的缺陷。