本發(fā)明提供了一種耐高溫局域表面等離子體納米傳感器件及其制備方法和應用，屬于局域表面等離子體傳感器件技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供的耐高溫局域表面等離子體納米傳感器件，包括基底和層疊設(shè)置于所述基底表面的島狀納米結(jié)構(gòu)，所述島狀納米結(jié)構(gòu)由周期排列的二維納米結(jié)構(gòu)陣列組成；所述島狀納米結(jié)構(gòu)的材料為Au或Au合金。本發(fā)明提供的耐高溫局域表面等離子體納米傳感器件中，納米結(jié)構(gòu)的材料為Au或Au合金，耐高溫性能好，同時耐腐蝕，可用于高溫液相或氣相環(huán)境中低濃度待檢物質(zhì)的實時檢測，以滿足高溫環(huán)境中對生物、化學物質(zhì)的快速特異性檢測需求。