本發(fā)明公開了一種固態(tài)參比電極及其壓頭裝置和制備方法，其中，第一涂層、第一導(dǎo)電層、硅晶片、第二導(dǎo)電層和信號傳輸結(jié)構(gòu)；沿所述第一涂層至所述第二導(dǎo)電層的垂直方向上，所述第一涂層、所述第一導(dǎo)電層、所述硅晶片和所述第二導(dǎo)電層依次層疊；所述信號傳輸結(jié)構(gòu)焊接在所述第二導(dǎo)電層上，所述第一涂層位于所述第一導(dǎo)電層背離所述硅晶片的一側(cè)表面，本發(fā)明實施例提出的固態(tài)參比電極方便保存和維護，其電壓穩(wěn)定性高，可適用于精密的電化學(xué)檢測，電極體積小，可以適用于測序儀相關(guān)的微小結(jié)構(gòu)中。