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基于光學游標效應的法布里帕羅結構耦合腔傳感芯片

973   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:13:35
本實用新型屬于光學傳感器技術領域,具體為一種基于光學游標效應的法布里帕羅結構耦合腔傳感芯片。本實用新型的傳感芯片包括三塊平面反射鏡以及兩個方形石英微管;兩塊平面反射鏡與兩個方形石英微管中間形成傳感腔;中間平面反射鏡與下部平面反射鏡形成參考腔;方形石英微管為中空結構,兩端開口,可以與微流空系統(tǒng)結合;本實用新型可將傳統(tǒng)法布里帕羅諧振腔傳感芯片的靈敏度進行20?40倍的放大,避免了傳統(tǒng)法布里帕羅諧振腔傳感器對高品質(zhì)因子的需求,可以實現(xiàn)對于超低微量濃度、超小物理量的化學生物試劑的檢測;此法布里帕羅結構耦合腔制作方便,操作簡單,整體設計成本較低。
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