本發(fā)明公開了一種電子信息行業(yè)生產(chǎn)設(shè)備腔體零部件的精密洗凈方法，涉及電子精密設(shè)備清洗技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明包括如下步驟:待清洗部件分類；待清洗部件損耗情況檢查；去膜處理；漂洗和超聲波浸泡處理；部件干燥處理；清洗后部件復(fù)檢；噴砂和熔射處理；部件封裝，具有能夠有效清除生產(chǎn)設(shè)備腔體零部件的精密零部件表面沾染的各種各樣的膜層、化學(xué)物質(zhì)，實(shí)現(xiàn)精密設(shè)備零部件的洗凈再生，節(jié)約更換時間和成本，提高精密設(shè)備工作性能的優(yōu)點(diǎn)。