本發(fā)明提供了一種磷化銦晶片的表面處理方法，包括以下步驟：a)將拋光、化蠟后的磷化銦晶片采用混合藥液進行過藥處理，得到處理后晶片；所述混合藥液由氧化劑溶液、酸溶液和水配制而成；b)將步驟a)得到的處理后晶片依次經(jīng)沖水、甩干，得到清洗檢驗前的磷化銦晶片。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明提供的磷化銦晶片的表面處理方法是出現(xiàn)在磷化銦晶片清洗檢驗前的一個重要工藝，該表面處理方法操作簡便、效率高；處理后的晶片表面粗糙度會更好，產(chǎn)品良率更高；并且所使用的混合藥液中各成分均為常見無機化學品，成本低；因此本發(fā)明提供的磷化銦晶片的表面處理方法具有廣闊的應用前景。