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高壓二極管芯片上膠層膜厚控制方法

944   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:30:14
本發(fā)明公開了電子元器件生產(chǎn)領(lǐng)域的一種高壓二極管芯片上膠層膜厚控制方法。對經(jīng)化學清洗干燥后的已燒結(jié)高壓二極管芯片按照工藝要求進行管芯表面涂敷聚酰胺膠(上膠),再放于階梯式程控烘箱內(nèi)進行干燥(聚酰胺膠鈍化)。從干燥后的生產(chǎn)批中抽取一根部件,置于金相顯微鏡的測試臺上,調(diào)整顯微鏡焦距粗調(diào)、微調(diào)旋鈕,分別對鈍化層表面、芯片表面進行定位,可以測量出鈍化層的膜厚。本發(fā)明具有測量精度高和提高成品的合格率等優(yōu)點。
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