本發(fā)明公開了一種優(yōu)化晶體硅太陽能電池PN結(jié)的方法，步驟如下：擴散；酸溶液對PN結(jié)腐蝕：將擴散后的硅片置于化學(xué)清洗機臺中，采用HNO3、HF和DI水的混合溶液對硅片進(jìn)行腐蝕，所述HNO3∶HF∶DI水的體積比為10∶1∶100, 反應(yīng)時間為20～60s；PN結(jié)堿溶液處理 : 由于酸性腐蝕液對硅片進(jìn)行酸性腐蝕時，表面會產(chǎn)生薄多孔硅層，需采用KOH和DI水的混合溶液對其清洗，所述KOH∶DI水的體積比為5∶100, 反應(yīng)時間為20～60s；清洗；刻蝕；PECVD；絲網(wǎng)印刷；燒結(jié)測試。本發(fā)明在減反射層上疊加了透明導(dǎo)電膜層，能使復(fù)合膜層的減反射效果更佳，提升太陽電池的短路電流，提高電池效率。