本發(fā)明公開(kāi)了一種耐摩擦的鉑/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)。該復(fù)合結(jié)構(gòu)位于SiO2/Si襯底上，由石墨烯和金屬鉑的微結(jié)構(gòu)陣列組成，其中石墨烯與襯底的SiO2層接觸，金屬鉑的微結(jié)構(gòu)陣列生長(zhǎng)在石墨烯的表面。本發(fā)明將Pt金屬微結(jié)構(gòu)陣列與石墨烯構(gòu)成一種復(fù)合耐摩擦結(jié)構(gòu)，以提高石墨烯材料的摩擦特性。制備步驟：利用化學(xué)氣體沉積方法在Cu箔上生長(zhǎng)石墨烯材料，石墨烯材料的層數(shù)控制在4到10層之間，再采用FeCl3溶液腐蝕Cu箔并將石墨烯轉(zhuǎn)移到SiO/Si襯底之上，然后利用掩模和磁控濺射的方法，在石墨烯的表面生長(zhǎng)Pt金屬微結(jié)構(gòu)陣列。經(jīng)摩擦－磨損測(cè)試表明，本發(fā)明的復(fù)合結(jié)構(gòu)具有非常優(yōu)良的摩擦性能，其制備方法簡(jiǎn)單，適合應(yīng)用于一些需要耐摩擦的MEMS器件表面。