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取代GPP工藝的新芯片的制備方法

1130   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:51
本發(fā)明公開了一種取代GPP工藝的新芯片的制備方法,經(jīng)過擴散、一次勻膠、切割、蝕刻、一次去光刻膠、清洗、勻PI膠、PI膠預(yù)固化、二次勻膠、光刻、去除PI膠、二次去光刻膠、PI膠固化、點測、劃片和裂片工序,完成取代GPP工藝的新芯片的制備;本發(fā)明制備得到的產(chǎn)品替換玻璃鈍化保護的GPP芯片,其具有很低的漏電流、較強的機械性能以及耐化學(xué)腐蝕性能,同時,PI膠在擴散片表面形成的PI膜可以有效的阻擋潮氣,增加器件抗潮濕能力,改善了芯片電學(xué)性能,提高了芯片可靠性,而且本發(fā)明制備工藝簡單,生產(chǎn)成本低,熱處理溫度及能耗低。
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“取代GPP工藝的新芯片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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