本發(fā)明涉及一種離子束刻蝕制作電鏡流體微元控溫芯片的方法及產(chǎn)品，所述電鏡流體微元控溫芯片包括上片和下片，上片和下片均為正反面都設(shè)有絕緣層的硅基片，上片的正面與下片的正面通過(guò)粘結(jié)層固定粘結(jié)，上片、下片和粘結(jié)層共同構(gòu)成一腔室；上片上設(shè)有第一視窗，下片上設(shè)有加熱電極、進(jìn)液口、出液口、加熱絲和第二視窗，加熱絲位于第二視窗內(nèi)；本發(fā)明提供的電鏡流體微元控溫芯片可在第二視窗內(nèi)直接觀察到加熱絲形貌，可用于流體局部溫度變化的測(cè)量和對(duì)流體微元的反饋控溫，便于使用者更好地了解微米納米流體溶液中局部位置的熱反應(yīng)過(guò)程，流體微元間的相互作用以及微元部分溫度變化對(duì)化學(xué)反應(yīng)的影響。