本發(fā)明公開了一種多孔硅基二氧化碲納米棒復(fù)合結(jié)構(gòu)氣敏傳感器元件的制備方法，采用雙槽電化學(xué)腐蝕法在p型單面拋光的單晶硅片的拋光表面制備多孔硅層，再利用蒸發(fā)法在多孔硅上原位生長二氧化碲納米棒，制得復(fù)合結(jié)構(gòu)的多孔硅基二氧化碲納米棒，再于超高真空對靶磁控濺射設(shè)備的真空室，利用磁控濺射法在其表面沉積形成兩個鉑點電極。提供了一種制備過程簡單，易于控制、實現(xiàn)室溫下對氮氧化物氣體探測，具有高靈敏度等優(yōu)異氣敏特性的新型多孔硅基二氧化碲納米棒復(fù)合結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器元件。