本發(fā)明公開了一種錫酸鎘金相試樣及其制備方法，屬于工業(yè)材料制備領(lǐng)域。本發(fā)明所述錫酸鎘金相試樣的制備方法中，對錫酸鎘試樣經(jīng)特定打磨及機械拋光處理，可有效避免傳統(tǒng)打磨過程中出現(xiàn)斜面，進而導(dǎo)致金相在觀察時出現(xiàn)模糊不清的缺陷；所述金相試樣經(jīng)后續(xù)表面化學(xué)腐蝕處理后，可在顯微觀察下清晰完整地觀測到顯微組織，樣品上無明顯劃痕、疵點或凹坑缺陷；該方法具有操作步驟簡單、成本低及耗時短的優(yōu)點，在評價錫酸鎘靶材晶粒情況及性能研究方面具有實用意義。本發(fā)明還公開了所述錫酸鎘金相試樣的制備方法得到的錫酸鎘金相試樣，該產(chǎn)品表面平整光滑無瑕疵，在顯微觀察下微觀組織清晰，可實現(xiàn)對其晶粒大小及均勻性的有效評價。