本發(fā)明提供一種石墨烯金屬?gòu)?fù)合結(jié)構(gòu)的太赫茲調(diào)制器，由襯底、金屬結(jié)構(gòu)層、絕緣介質(zhì)層、石墨烯薄膜層、電極組成。所述太赫茲調(diào)制器通過(guò)在金屬結(jié)構(gòu)層和電極之間施加電壓改變石墨烯的化學(xué)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)穿過(guò)器件的太赫茲波能量的調(diào)制，同時(shí)通過(guò)金屬結(jié)構(gòu)層在太赫茲波特定波段的共振作用，增強(qiáng)器件在共振波段的調(diào)制深度。本發(fā)明將石墨烯的高電子遷移率性質(zhì)與金屬結(jié)構(gòu)的共振性質(zhì)結(jié)合，獲得了高速、大調(diào)制深度的太赫茲調(diào)制器，可廣泛用于太赫茲通信、太赫茲探測(cè)、太赫茲成像等領(lǐng)域。